工具测量显微镜又称工具制造用显微镜，是一种工具制造时所用高精度的二次元坐标测量仪。它是利用光学原理将工件成像经物镜投射至目镜即借着光线将工件放大成虚像，再利用装物台与目镜网线 (eyepiece reticle) 等辅助，以作为尺寸、角度和形状等测量工作，可作为检验非金属光泽的工件表面。此种仪器在立柱上装有一显微镜，放大倍率从10倍至100倍间等数种倍率，工具显微镜的测量系统光源 ( 灯炮 ) 通电后，光线依次经过二个透镜滤热镜 ( 片 )、镜径薄膜、透镜、反射镜、装物台、物镜、反射镜、目镜等，工件与物镜间的距离，随着放大倍率和工件厚薄，可利用对焦旋钮调至理想位置。

工具测量显微镜测量用途

测量各种金属加工件、冲压件、塑料件的直径、长度、角度、孔的位置等； 测量各种成型零件如样板、样板车刀、样板铣刀、冲模和凸轮的形状；

测量各种刀具、模具、量具的几何参数；

测量螺纹塞规，丝杠和蜗杆等外螺纹的中径、大径、小径、螺距、牙型半角；

测量齿轮滚刀的导程、齿形和牙型角；

测量印刷电路板上的线长宽度、距离和元件焊装孔的尺寸和位置；

测量各种零件的二维形位公差。

技术参数：

工作台

　　测量行程（mm）

　　X坐标：200 Y坐标：100 X、Y坐标测量分辨率：0.0002mm X、Y坐标准确度：(1+L/100)μm， 式中L为被测长度，单位为mm

　　方工作台尺寸（mm）：260×270 方工作台承放工件大高度（mm）：140

　　显微镜立柱

　　角度倾斜范围：±12° 角度倾斜分度值：30′