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显微镜下确定MEMS传感器的问题

2018-06-29 | 来源:
MEMS传感器的研发总会使人兴奋,但与此同时也会面临着很大的压力。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时,最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性,将需要几个星期、几个月甚至几年的时间去得到为数不多的好芯片。您可能会问自己这样一个问题:怎样才能使MEMS传感器工艺研发进度更加高效呢?花点时间和精力去仔细检查所有工艺步骤。听起来似乎很简单,但往往检查部分是被忽略的。在某些情况下,即使在所有结构都是错误的情况下人们还在继续处

MEMS传感器的研发总会使人兴奋,但与此同时也会面临着很大的压力。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时,最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性,将需要几个星期、几个月甚至几年的时间去得到为数不多的好芯片。

您可能会问自己这样一个问题:怎样才能使MEMS传感器工艺研发进度更加高效呢?花点时间和精力去仔细检查所有工艺步骤。听起来似乎很简单,但往往检查部分是被忽略的。

在某些情况下,即使在所有结构都是错误的情况下人们还在继续处理晶圆。同样,您可能认为已经制造出能工作的器件,但是经过切片、胶合、键合后,发现没有一个芯片能正常工作。

在一台光学显微镜下,许多制造步骤都可以简单地被观察,通常只需要几分钟来帮助确定MEMS传感器制造问题。然而,最难的是显微镜也不能帮助确定的问题。

不精确的MEMS传感器结构层厚

许多工艺方法(如物理气相沉积法、化学气相沉积法或电镀法)都会依赖沉积材料来构建机械结构或电子元件,而光学显微镜看不到的材料层的厚度对于性能影响相当重要。

常见的检查方法/设备:

轮廓仪

椭圆仪

切割晶圆,通过扫描电子显微镜观察(破坏性的测试)

基于探针的微机械测试

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