扫描式磁场力显微镜(Magnetic Force Microscope, MFM)

扫描式磁场力显微镜利用具磁性的探针(Si)镀上一层磁性Co-Cr 合金，第一次扫描时Tapping Mode AFM 的振幅用来量测表面高低，分辨率约20～50nm。在Lift 第二次扫描时，振幅受现有磁场变化，依Lift 提升高度而变更，可为雷射光侦测器得知，此差异讯号可用来判断表面磁场分布，最容易同时得到AFM 及磁场分布影像，但是磁场大小却无法得知。Tapping Mode 和Lift Mode 的操作应用，扫描前必须探针磁化，然后先以Tapping Mode 取得高度变化的影像，然后再利用Lift Mode 量测存在表面上方的磁场分布，因为探针已经经过磁化所以在表面上方扫描时只会感应有磁场的区域，如图5。由于样品磁场大小有不一样的特性，不能使用具强磁性的探针去扫描软磁性的样品，否则样品磁场会被强磁性的探针所干扰，造成一堆杂乱讯号。