第三种轻敲式AFM则是将非接触式加以改良，其原理系将探针与样品距离加近，然后增大振幅，使探针在振盪至波谷时接触样品，由于样品的表面高低起伏，使得振幅改变，再利用类似非接触式的迴馈控制方式，便能取得高度影像。由于接触式扫描容易刮伤试片表面，所以后来改用驱动探针跳动来扫描试片，如此接触试片表面时探针施予的力量不但小了许多，且只有正向作用力，但是此时系统不再利用探针悬臂的偏折量来作回馈，而是探针跳动时悬臂的振幅量来回馈。其示意图如图4-4所示。

图4-4 轻敲式AFM[1]