Rq 均方根粗糙度 Rq是在取样长度内，轮廓偏离平均线的均方根值，它是对应于Ra的均方根(Rms)参数。这里 Rq的引出均方根值是将每一个值平方，然后将该平方平均后再开平方。 与算术平均值相比，Rms（均方根值）具有侧重给出较高值的作用。这可用下面的三组值来说明: 3, 4, 5 2, 4, 6 1, 4, 7 其每一组的算术平均是4，这三组中，较高的值按1连续增加（5，6，7），正好等于较低的值按1连续减小（3，2，1）。其各自的rms（均方根值）值是，说明最大数字的增加，在权重上超过了最低数字的减小。这就是为什么会有两个平均值(Ra和Rq)的原因。Ra可容易的从轮廓记录中得到，因此该参数最初适用在粗糙度测量仪器变成通用仪器之前。从统计学来讲,rms（均方根值）值比算术平均值更有意义。