在决定实际束斑的各因素中，计算表明，总效果是实际束斑近似正比于只。故电镜末透镜的焦距不能太大。常规扫描电镜中的／3约为lomm，末光阑孔的zui佳半径rm约为25—50Pm。如果光阑孔过小或过大，都会使束斑增大，从而影响图象分辨率。但是小光阑孔决定了小孔径角，从而可提高系统的景深。而大光嗣孔可以容纳更多束流通过，有利于作成分分析。因此用户可根据不同的工作要求，自由选择孔径不同的末光阑片。实际工作中，除直接选用不同的光阑外，还可通过调节样品台的高度来实现电子柬的不同孔径角。位于不同工作距离处的样品，只要配合使用相应的透镜激励电流，使电子束正好聚焦在样品面上，都能得到清晰的像。