引言

　　扫描电化学显微镜(SECM)是80年代发展起来的一种电化学现场检测新技术。该技术驱动非常小的电极(探针) 在靠近样品处进行扫描,样品可以是金属、半导体、高分子、生物基底等材料。SECM具有化学灵敏性，可测量微区内物质氧化或还原所产生的电化学电流，从而获得对应的微区电化学和相关信息。它主要由电化学部分(电解池、探头、基底、各种电极和双恒电位仪器)，用来精确地控制、操作探头和基底位置的位移驱动器，以及用来控制操作、获取和分析数据的计算机(包括接口)等三部分组成，SECM系统原理。

　　位移驱动部分是通过超精密定位技术(UMDE)实现对探针的三维空间微位移的精准控制，操纵探头和基底间保持相对稳定，以便获得样品表面信息。它既是SECM控制系统的基本组成部分，也是SECM实现纳米级分辨率的关键技术之一。为了获取样品尽可能完整的信息，要求驱动位移空间相对样品有较大的量程，可达到厘米级别。同时高分辨率要求必须是超精密定位，分辨率可达到亚微米。因此，SECM的驱动部分采用宏微两级位移控制系统。宏定位采用步进电机，微定位采用压电陶瓷。一个好的驱动控制电路是影响SECM位移精度的关键因素，因此本文着重于设计二级位移系统的控制电路。

　　步进电机宏定位

　　步进电机作为角位移的执行机构，当步进驱动器接收到一个脉冲信号时，就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度(即步进角)。由于可以通过控制离散的脉冲个数来控制角位移量，从而可以满足SECM准确宏定位的目的。步进电动机的控制占用大量的CPU工作时间，会影响了系统的整体性能。本驱动系统设计采用一种基于ARM微控制器的由L298构成的控制和驱动电路，既不占用CPU大量的时间，又能获得良好的控制和驱动效果。

　　压电陶瓷微定位

　　压电陶瓷驱动电源

　　压电陶瓷是利用电介质在电场中的压电效应，直接将电能转换成机械能，产生微位移的换能元件。因其高刚度、高频响、推力大和高分辨率等优点，广泛应用于航空航天、精密测量、生物工程、机器人等领域。驱动电源对压电陶瓷和机构的微位移影响很大，故性能良好的驱动电源是实现高精度位移的关键。压电陶瓷对驱动电源要求如下：一定范围内连续可调、输出稳定性好、纹波小、分辨率高。

　　压电陶瓷驱动电源从原理讲可以分为电压控制型和电荷控制型。这里采用电压控制型，由直流放大器芯片对控制电压信号进行线性放大和功率放大，输出0~150V连续可调的直流电压。它决定着电源输出电压的分辨率和稳定性，是整个电源的关键。

　　高压运放电路

　　选用的压电陶瓷等效电容为0.1mF，需要0~150V的连续可调输出电压，频率0~1 kHz(正弦波)，则所需转换速率为：

　　S.R=2pfV(1