离子溅射与真空镀膜比较，它具有以下优点：

粒子细，岛状结构少，约只有同一厚度的真空镀膜的1/5～1/10，膜层均匀。

对于凹凸不平较大的样品，也能形成很好的金属膜。

在膜的平均厚度一样时，溅射镀膜比真空镀膜的二次电子获得量大得多，故溅射镀膜的厚度可薄一些，所以能节省贵重金属用量。

所需真空度低，操作较容易，故节省时间。

溅射镀膜也有其不足之处，即：

溅射镀膜时，电子束和离子的冲击是不可避免的，因此软组织样品易受损伤。

虽不受辐射热影响，但放电电流增多时，样品有时会发热变形。

为使溅射取得满意的效果，操作时应注意以下几点：

样品要充分干燥，否则，金属颗粒不但不能附着，反而会引起样品损伤，特别是能放出有机气体的样品，有机气体会因放电而分解，使样品引起碳化污染。

加高压时辉光放电的颜色应为蓝色或紫蓝色，若是红色，应立即停止加高压，继续抽气。