扫描探针显微镜（Scanning probe microscopy，SPM）是所有机械式地用探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称。其影像分辨率主要取决于探针的大小。

       扫描探针显微镜集成原子力显微镜（AFM）、摩擦力显微镜（LFM）、扫描隧道显微镜（STM）、磁力显微镜（MFM）和静电力显微镜（EFM） 于一体，具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式，能够提供全部的原子力显微镜 （AFM） 和扫描隧道 （STM） 显微镜成像技术，可以测量样品的表面特性，如形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和磁/电场分布等等。

扫描探针显微镜的优势

  1、扫描探针显微镜具有极高的分辨率。它可以轻易的“看到”原子，这是一般显微镜甚至电子显微镜所难以达到的。

  2、扫描探针显微镜得到的是实时的、真实的样品表面的高分辨率图像。而不同于某些分析仪器是通过间接的或计算的方法来推算样品的表面结构。也就是说，扫描探针显微镜是真正看到了原子。

  3、扫描探针显微镜的使用环境宽松。电子显微镜等仪器对工作环境要求比较苛刻，样品必须安放在高真空条件下才能进行测试。而扫描探针显微镜既可以在真空中工作，又可以在大气中、低温、常温、高温，甚至在溶液中使用。因此扫描探针显微镜适用于各种工作环境下的科学实验。

扫描探针显微镜使用注意事项

  1、此为精密设备，需倍加爱护；

  2、该设备需熟练掌握下针技巧后，才可独立操作；

  3、针夹具取出后，一定倒置于滤纸上，并保证放于衣袖碰触不到的地方；

  4、下针过程中注意观察主机中的水平偏差值（Horiz）和垂直偏差（Vert），示值趋势是减小的为正常；

  5、显微镜视场光斑打到样品台中心位置，保证样品台平整时，针在视场的中心位置；

  6、手动下针的过程中，调三轴调节钮时，注意观察水平偏差值（Horiz）和垂直偏差（Vert）；

  7、自动下针完成后，在调节X,Y offset 确定扫描位置和范围的时候，务必先将采样频率降低；

  8、测试过程中，密切注意测试状态：显示 CRT 上针的状态及软件中可能出现超限提示的部分；

  9、测试过程中，尽量保正环境气流稳定，请缓慢行走，轻轻关门。