1．原子力显微镜/AFM的基本原理

/AFM的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。下面，我们以激光检测/AFM（Atomic Force Microscope Employing Laser Beam Deflection for ForceDetection, Laser-AFM）——扫描探针显微镜家族中zui常用的一种为例，来详细说明其工作原理。 原子力显微镜原子力显微镜

2．原子力显微镜/AFM的硬件结构

在/AFM（Atomic ForceMicroscopy，AFM）的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。原子力显微镜