原子力显微镜检验使用说明总结如下：

1）系统预热：打开控制箱和计算机，预热３0分钟，使系统稳定

2）制样：将干燥的样品用双面胶固定于不锈钢圆片上，样品尺寸直径小于１ｃｍ，厚度小于５ｍｍ．

3）保护探针：取下防尘罩轻轻拿下显微镜探头，将贴有样品的不锈钢圆片固定于样品台上，然后把显微镜探头放回原处，放置样品之前，探针和样品之间要保持一定距离，以免损坏探针。

4）模式选择，打开iNanoSPM在线软件，选择工作模式和放大倍率﹙一般选择5倍﹚。

5）光斑调整：调节激光调节旋钮使激光光斑汇聚在探针悬臂上，调节光敏检测器旋钮使激光光斑汇聚在光敏检测器的中心位置，若采用轻敲模式力的大小一般设置为共振峰高度的1/2至2/3处。

6）针尖趋进：首先双手调节底座手动粗调旋钮（旋钮向左头部向下，反之向上）观察激光在针尖和样品表面上的光斑，当调节到两束光点重合在一起时，应停止手动趋进，然后在马达控制面板上点击“自动趋进”。（注意：调节时不要使前后端太倾斜，应使马达控制的一段稍高，否则应退针并调节底座手动粗调旋钮再重复以上步骤）。

7）样品扫描：设置扫描范围X、Y和Z轴范围，若样品不清晰，调节各参数，使图像达到最佳效果。 

8）图像保存：将扫描图像文件保存到指定位置，并用图像分析软件分析各参数，如三维图像，表面粗糙度各参数等。

9）关机：扫描结束后，点击马达控制窗口中的“自动驱离”按钮，当驱离的步数打到三千步，即可停止。退出实时软件，关闭控制箱电源和计算机，盖上防尘罩。