测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

测量显微镜使用过程中应注意的几个问题：

1.机械式测微机构测量目镜，测量时应单向转动测微手轮，消除空回对测量的影响。

2.对于同时测定型的测微目镜，操作者应注意两块分划板刻线重合时，测微读数零位是否正确，如不正确，应规正微分简或测量后加以读数修正。

3.对数字式测微目镜，在每次开机后应使两块分划板刻线无线接近，中间有条细微的缝，似看到似看不到，然后按“清零”键，使读数归零。

4.当压痕两条对角线长度不等时，应测量两条对角线长度，并取其平均值。

5.在旋转测量显微目镜使其分划板的移动方向和压痕待测对角线平行后，可在此对角线垂直方向上移动工作台，使对角线落在分划板十字线交点移动的轨迹上，但在用此交点进行瞄准时，则应转动测微目镜的手轮，而不应移动工作台。

6.操作人员应严格训练，经常以标准显微硬度块校验自已的瞄准度。