工具显微镜指可作二维坐标尺寸测量的光学仪器。除作长度测量外，还可作角度、轮廓和极坐标测量等。是一种在工业生产和科学研究部门中使用十分广泛的光学量测仪器。它具有较高的量测精度，适用于长度和角度的精密量测。主要的量测对象有刀具、量具、模具、样板、螺纹和齿轮类零件等。

原理

工具显微镜具有直角坐标测量系统、光学系统和被瞄准装置、角度测量装置。坐标测量系统由纵向、横向标准量和可移动的工作台构成。被测工件的轮廓经光学系统投影放大成像后，由瞄准装置瞄准被测轮廓的某一几何要素，从标准量细分装置上读出纵横两个方向的坐标值，然后移动工作台及安装在其上的被测工件，瞄准被测轮廓的另一几何要素并读出其坐标值，则被测轮廓上这两个要素之间的距离即为工件长度。被测轮廓上某两要素间的数值由瞄准装置和角度测量装置读出。