特点

相对于扫描电镜，光子扫描隧道显微镜 还具有以下优点：

1、可用 于不导电样品的观测

2、要以进行表面三维立体成像

3、更适用于光谱学等方面的应用

4、图像由数字数据流组成，便于远距离观察、 储存及处理，采用电子显微镜观察时，必须对样品做特别 处理，因而会引进许多人为因素；

由于不需要真空条件，使用成本和维修费用都很低，其应用范围也较为广泛，尤其在生物工程等领域，更具优势，因为电子显微镜的真空工作环境对活细脆具有直接的破坏作用，而PSTM则可以看到活细胞的三维立体图像。

适用范围

PSTM在国际上已经开展了以下几个方面的具体应用：

1、对生物样品、聚合物、光学材料等多种样品进行表面形状观测，表面 轮廓、粗糙度观测

2、对薄胶片的研究

3、光波导的研究

4、观测衍射光栅的表面像，以推知和评价光栅的闪耀角和顶角，这将有助于光姗的标准化，无损检查半导体晶片等

5、应用于毫微结构分析，化学成份分析与光谱分析等诸多领域中。

展望

综上，预计PSTM这项新技术将在医学、 生物工程、光波导和光电集成电路检测，材料科学和表面科学等一些高技术学科和产业中有着广阔的应用前景。 此外，还可将此新兴技术不断向其它技术领域多方面渗透，逐步开拓、建立新的应用领域，充分发挥其内在潜力，这将对科技发展及国民经济建设产生一系列重要的影响。