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显微镜下确定MEMS传感器的粘滞作用
2018-06-29 | 来源：
粘滞作用像悬臂梁、薄膜、梭形阀这些机械结构可能由于结构的释放会和底层基板粘连，导致器件永久性失效。如果MEMS传感器结构和衬底之间的距离非常小，那么通过显微镜观察曲率是不可见的。如果您想要好芯片，恐怕只有在封测环节来挑选了。常见的检查方法/设备:探针台电性测试（如电容传感器）基于探针的微机械测试
粘滞作用
像悬臂梁、薄膜、梭形阀这些机械结构可能由于结构的释放会和底层基板粘连，导致器件永久性失效。如果MEMS传感器结构和衬底之间的距离非常小，那么通过显微镜观察曲率是不可见的。如果您想要好芯片，恐怕只有在封测环节来挑选了。
常见的检查方法/设备:
探针台电性测试（如电容传感器）
基于探针的微机械测试
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