扫描式电子显微镜可像数码相机一样操作简单，在轻松获得大倍数图像的同时，保持着高分辨率和大景深，具有扫描电子显微镜的强大电子光学性能，有助于加快在生命科学以及加工材料的缺陷分析方面的研究步伐。

　　该设备在自动对焦、自动衬比和自动亮度控制等基本方面，操作都很简单，无需进行涂层或干燥等特殊的样品处理准备，高真空和低真空两种操作模式以及三种加速电压设置，适用于多种应用领域，所有这些都可在预先设定的方案文件中进行编程，在轻松获得大倍数图像的同时，保持着高分辨率和大景深，具有扫描电子显微镜的强大电子光学性能。

　　扫描电镜由电子枪发射出电子束(直径约50um)，在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚，形成直径为5nm的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，电子和样品相互作用产生信号电子，这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再经过电信号放大器加以放大处理，成像在显示系统上。

　　扫描式电子显微镜的结构包括电子光学系统、信号收集、图像显示和记录系统、真空系统，这部分主要由电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室组成，电子枪提供一个稳定的电子源，形成电子束，一般使用钨丝阴极电子枪，用直径约为0.1 mm的钨丝，弯成发夹形，形成半径约为100um的V形。当灯丝电流通过时，灯丝被加热，达到工作温度后便发射电子，在阴极和阳极间加有高压，这些电子则向阳极加速运动，形成电子束。电子束在高压电场作用下，被加速通过阳极轴心孔进入电磁。