扫描电子显微镜的功能及用途说明

　　扫描电子显微镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

　　具体功能用途归纳如下：

　　1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)；

　　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定-化学成分像分布，微区化学成分分析；

　　3、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

　　4、扫描电子显微镜在半导体器件研究中的特殊应用：

　　1)利用电子束感生电流进行成像，可以用来进行集成电路中的定位和损伤研究。

　　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　　如今，扫描电子显微镜已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具、加速电子的电压和所希望获得的分辨率决定样本的厚度。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。原子量越高、电压越低、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件，一般在数千伏到3百万伏特之间。它能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。