扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年便已被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电子显微镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年开始生产商品扫描电子显微镜。近数十年来，扫描电子显微镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。

　　扫描电子显微镜的特点

　　和光学显微镜及透射电子显微镜相比，扫描电子显微镜具有以下特点：

　　(一) 能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

　　(二) 样品制备过程简单，不用切成薄片。

　　(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。

　　(四) 景深大，图象富有立体感。扫描电子显微镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电子显微镜大几十倍。

　　(五) 图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电子显微镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电子显微镜之间，可达3nm。

　　(六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。

　　(七) 在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。