场发射扫描电子显微镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。本文主要为大家介绍一下场发射扫描电子显微镜技术参数、主要用途及应用范围。

　　SIGMA500场发射扫描电子显微镜技术参数

　　分辨率： 0.8nm@15kV  1.6nm@1kV

　　放大倍数：10-1,000,000×

　　加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）

　　探针电流： 4pA-20nA（40nA&100nA可选）

　　低真空范围：2-133Pa（Sigma500可用）

　　样品室： 358mm（φ），270.5mm（h）

　　样品台：5轴优中心全自动  

　　X=125mm（可选130mm）

　　Y=125mm（可选130mm）

　　Z=50mm

　　T=-10º-90º

　　R=360º连续

　　系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制