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探针冷热台结合研究级岩相学显微镜,轻松获取试验参数
2021-04-23 | 来源：
探针冷热台主要应用于半导体行业、光电行业、超导、集成电路等领域，用来测试芯片、气体传感器以及封装器件的测试。旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针冷热台结合研究级岩相学显微镜使用，可以直接原位观察在加温或冷冻过程中样品（如：流体包裹体、熔体包裹体）相态的变化，测定相变温度，进而获得相关的物理化学参数。一般包括供芯片安装的测试腔组件和设置于测试腔组件上方的显微镜。例如半导体传感器在生产和研制过程中，
探针冷热台主要应用于半导体行业、光电行业、超导、集成电路等领域，用来测试芯片、气体传感器以及封装器件的测试。旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
探针冷热台结合研究级岩相学显微镜使用，可以直接原位观察在加温或冷冻过程中样品（如：流体包裹体、熔体包裹体）相态的变化，测定相变温度，进而获得相关的物理化学参数。
一般包括供芯片安装的测试腔组件和设置于测试腔组件上方的显微镜。例如半导体传感器在生产和研制过程中，需要对芯片进行检验和测试，半导体传感器外形是多样的，直径规格有多种，在测试过程中需要配合显微镜来对位探针到测试触点来测试电化学信号以及观察芯片表面物理现象（拉曼效应）进行观察。
例如内含半导体传感器的气体传感器，可以感应检测周围易燃易爆或有气体的泄露浓度，对该气体传感器进行测试时，需要对测试腔组件中进行填充不同浓度的相应气体。针对不同的测试要求，可能还需要不同温度的测试环境以及不同真空度的测试环境等等，而现有的探针台功能单一，通用性差，导致使用不方便。
探针冷热台注意事项
(1) 连接过程保持在不通电源的情况下,最后再倒通电源。
(2) 注意水泵始终浸没于水中,定期更换水,防止因为循环冷却导致水温过高而影响冷却效果。
(3) 在调试过程中,用过的石英玻璃片要及时清洗,防止因样品残留而导致的温度调节误差。
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