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扫描电子显微镜对样品有哪些要求?其影像的影响因素有哪些?
2021-04-23 | 来源:
扫描电子显微镜基本要点是用极狭窄的电子束来扫描样品,即电子束在样品上作光栅运动。电子束与样品相互作用将会产生样品的二次电子发射,二次电子能产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序地建立起来的,即用逐点成像的方法获得放大的像。扫描电子显微镜对样品的要求:1、不会被电子束分解2、在电子束扫描下热稳定性要好3、能提
扫描电子显微镜基本要点是用极狭窄的电子束来扫描样品,即电子束在样品上作光栅运动。电子束与样品相互作用将会产生样品的二次电子发射,二次电子能产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序地建立起来的,即用逐点成像的方法获得放大的像。
扫描电子显微镜对样品的要求:
1、不会被电子束分解
2、在电子束扫描下热稳定性要好
3、能提供导电和导热通道
4、大小与厚度要适于样品台的安装
5、观察面应该清洁,无污染物
6、进行微区成分分析的表面应平整
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响
显微镜影像品质的影响因素有:
A. 电子枪的种类:使用场发射、LaB6或钨丝的电子枪。
B. 电磁透镜的完善度。
C. 电磁透镜的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens
D. 样品室的洁净度: 避免粉尘、水气、油气等污染。
E. 操作条件: 加速电压、工作电流、仪器调整、样品处理、真空度。
F. 环境因素: 振动、磁场、噪音、接地。
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