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扫描电子显微镜的功能及用途说明
2020-04-10 | 来源：
扫描电子显微镜的功能及用途说明扫描电子显微镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。具体功能用途归纳如下：1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图
扫描电子显微镜的功能及用途说明
扫描电子显微镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。
具体功能用途归纳如下：
1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)；
2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定-化学成分像分布，微区化学成分分析；
3、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。
4、扫描电子显微镜在半导体器件研究中的特殊应用：
1)利用电子束感生电流进行成像，可以用来进行集成电路中的定位和损伤研究。
2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
如今，扫描电子显微镜已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具、加速电子的电压和所希望获得的分辨率决定样本的厚度。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。原子量越高、电压越低、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件，一般在数千伏到3百万伏特之间。它能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。
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