发布新型场发射扫描电子显微镜，电子光学系统进行了*化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20%。达到0.9nm，1.1 nm的分辨率。另外，低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。zui大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。 　　主要特点： 　　搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪 　　跟前代机型相比分辨率大约提高了20%