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扫描电子显微镜的主要参数有哪些？

2017-01-06 | 来源：

扫描电子显微镜是一种常用的显微镜产品，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品。扫描电子显微镜的主要参数有哪些呢?今天小编就来具体介绍一下，希望可以帮助用户更好的应用产品。放大率与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。所以，SEM中，透镜与放大率无关。场深在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。成象次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。表面分析欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层(参见作用体积)，所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析zui常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。工作距离工作距离指从物镜到样品zui高点的垂直距离。如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

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