JSM-7800F Prime场发射扫描电子显微镜
JSM-7800F Prime采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界zui高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将zui大探针电流从200nA提高到了500nA。
浸没式肖特基Plus场发射电子枪 电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实现了更高的亮度，能有效采集电子枪中发射的电子，即使在低加速电压下也能获得数 pA～数10 nA 探针电流，保持zui小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。 | |
| 利用GBSH(GENTLE BEAM SUPER HIGH RESOLUTION)观察样品表面 以前的GB※模式经过改进后，可以对样品施加更高的电压，这样在低加速电压下也能获得超高分辨率的图像。从样品的浅表面观察到纳米尺寸的元素分析，GBSH能根据各种不同的应用选择加速电压。※Gentle Beam(GB) 通过给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。 | |
| 通过GENTLE BEAM （即柔和光束GB模式）观察样品的浅表面 给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低，也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式，用数十电子伏能量的入射电子束，就可以进行更高分辨率的观察。 | |
| 通过多个检测器获取样品的所有信息 JSM-7800F配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。 |
应用实例
利用GBSH进行观察 JSM-7800F Prime 标配了GBSH模式。下图是高定向热解石墨(HOPG)解理面的二次电子像，到达样品时的能量为1keV，左图中样品偏压为-2kV，右图中样品偏压为-5kV。 可以看出利用GBSH(样品偏压-5 kV)模式观察，HOPG的微细结构更加清晰，达到的分辨率更高。 | |
以前的技术 样品偏压2KV | 技术 样品偏压5KV |
产品规格
| 分辨率 | 0.7 nm(15 kV)0.7 nm(1 kV)3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) |
| 倍率 | ×25 ～ ×1,000,000(SEM) |
| 加速电压 | 0.01kV ～ 30kV |
| 样品照射电流(探针电流) | 数pA～500nA |
| 自动光阑角*控制透镜 | 内置 |
| 检测器 | 高位检测器(UED)低位检测器(LED) |
| 能量过滤器 | UED过滤器电压可变功能内置 |
| Gentle Beam （GB模式即柔和光束） (样品偏压) | 内置 |
| 数字图像 | 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素 |
| 样品交换室 | 由TYPE2A构成 |
| 样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 |
| X-Y | X:70mm, Y:50mm |
| 倾斜 | －5 ～ ＋70° |
| 旋转 | 360° |
| 工作距离 | 2mm to 25mm |
| 真空系统 | SIP 2台、TMP、RP |
| 节能设计 | 正常运行时: 1.3kVA节能模式时: 0.8ｋV |
JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL)，由于减少了色差及球差，极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外，SHL不会对样品形成磁场影响，因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。
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