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使用便携式原子力显微镜实现太阳能电池工业的在线粗糙度测量

2010-05-21 | 来源:
便携式原子力显微镜摘要:在薄膜太阳能工业区域粗糙度参数总是需要在控制中,因为它们与电池的电效率紧密相关。在这项工作中,我们在太阳能工业典型的制造车间中测量和评价粗糙度参数。测量使用的是NanosurfeasyScan2便携式原子力显微镜,这台仪器放置在CNC金刚石切割设备上,设备上有一被切成四块的透明导电氧化物薄膜的初始样品。通过在这个过程中得到的结果与在实验室*条件下得到的结果比较,证明了车间在线测量的方法是可行的。区域粗糙度参数和傅里叶

便携式原子力显微镜

摘要:在薄膜太阳能工业区域粗糙度参数总是需要在控制中,因为它们与电池的电效率紧密相关。在这项工作中,我们在太阳能工业典型的制造车间中测量和评价粗糙度参数。测量使用的是Nanosurf easyScan 2 便携式原子力显微镜,这台仪器放置在CNC金刚石切割设备上,设备上有一被切成四块的透明导电氧化物薄膜的初始样品。通过在这个过程中得到的结果与在实验室*条件下得到的结果比较,证明了车间在线测量的方法是可行的。区域粗糙度参数和傅里叶光谱分析的数据具有一致性,表明使用这种类型的测量工具进行在线质量控制是可行的。这个实验测量评价过程对样品的TCO是无任何破坏的;这样100%的产品能被测试,因此改进了测量时间和成品率。

关键词:表面精密测量法;原子力显微镜;太阳能电池;透明导电氧化物膜;区域粗糙度
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