扫描电子显微镜与金相显微镜同属光学仪器。很多人都喜欢用金相显微镜当扫描电子显微镜使用，但它们之间还有有很大区别的，错误的使用做只会给设备带来更多的负担加速金相显微镜的消耗。

　　1、首先原理不同：金相显微镜是利用几何光学成像原理进行成像的，而扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。用高能量电子束轰击样品表面，样品表面被激发出各种物理信号，利用不同的信号探测器接受物理信号，再转换成图像信息。

　　2、其次光源不同：金相显微镜是采用可见光作为光源来成像，而扫描电镜是采用电子束作为光源成像。

　　3、分辨率不同：金相显微镜受到可见光的干涉与衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜由于采用电子束作为光源，其分辨率可达到1-3nm之间，因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析，扫描电镜的组织观测属于纳米级分析，扫描电镜获得的样品信息更丰富。

　　4、景深不同：一般金相显微镜的景深在2-3um之间，因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求，所以制样过程相对比较复杂。扫描电镜的景深则是金相显微镜的几百倍，但由于其成像原理所限，要求样品表面必须导电，因此要对样品表面做导电处理。

　　扫描电子显微镜相比金相显微镜放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大，图象富立体感，获得样品信息更丰富，在应用上比金相显微镜更为深入和广泛。