原子力显微镜与扫描电子显微镜

尽管SEM 和AFM 的横向分辨率是相似的,但每种方法又会根据观察者对试样表面所要了解的信息不同而提供更完美的表征。SEM 和AFM 两种技术最基本的区别在于处理试样深度变化时有不同的表征。

极其平整的表面既可能是天然形成的,如某些矿物晶体表面,也可能是经过处理的,如抛光和晶体在半导体上的取向生长以及光盘表面等。对经过王水处理去掉外层保护膜的磁光盘进行扫描。与SEM 不同,AFM 一次扫描即可完成三维测量(X、Y、Z)。由于AFM的纵向分辨率小于0.5 埃,所以它可以分辨出光盘在垂直方向不足100nm 凹坑。而对于如此平整的样品,由于高度的变化极其微小,SEM 却很难分辨出这些特征。