斥力模式原子力显微镜（AFM） 

     微悬臂是原子力显微镜（AFM）关键组成部分之一，通常由一个一般100～500μm长和大约500nm～5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。对于一般的形貌成像，探针尖连续（接触模式）或间断（轻敲模式）与样品接触，并在样品表面上作光栅模式扫描。通过计算机控制针尖与样品位置的相对移动。当有电压作用在压电扫描器电极时，它会产生微量移动。根据压电扫描器的精确移动，就可以进行形貌成像和力测量。原子力显微镜（AFM）设计可以有所不同，扫描器即可以使微悬臂下的样品扫描，也可以使样品上的微悬臂扫描。原子力显微镜（AFM）压电扫描器通常能在（x,y,z）三个方向上移动，由于扫描设计尺寸和所选用压电陶瓷的不同，扫描器最大扫描范围x、y轴方向可以在500nm～125μm之间变化，垂直z轴一般为几微米。好的扫描器能够在小于1Å尺度上产生稳定移动。

     通过在样品表面上扫描原子力显微镜（AFM）微悬臂（或使微悬臂下的样品移动）并且记录微悬臂的形变，可以测量样品表面的起伏高度。将样品的局域起伏高度对应探针尖的水平位置绘图，即可得到样品表面的三维形貌图像。利用轻敲模式技术，测量振荡微悬臂的振幅或相位变化，也可以对样品表面进行成像。