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显微镜下确定MEMS传感器的裂纹
2018-06-29 | 来源：
裂纹大多数裂纹都可以在光学显微镜下看到，但是，在某些情况下，由于分辨率的局限性，细的“发际线”裂缝是不可见的。常见的检查方法/设备:探针台电性测试声学显微镜基于探针的微机械测试
裂纹
大多数裂纹都可以在光学显微镜下看到，但是，在某些情况下，由于分辨率的局限性，细的“发际线”裂缝是不可见的。
常见的检查方法/设备:
探针台电性测试
声学显微镜
基于探针的微机械测试
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