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显微镜下确定MEMS传感器的粘附力问题

2018-06-29 | 来源：
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粘附力问题MEMS传感器结构内层与层之间的粘附力可能很微小，光学显微镜也许会看到分层迹象，但微小的粘结层是观察不到的。常见的检查方法/设备:声学显微镜基于探针的微机械测试（破坏性的测试）

粘附力问题

MEMS传感器结构内层与层之间的粘附力可能很微小，光学显微镜也许会看到分层迹象，但微小的粘结层是观察不到的。

常见的检查方法/设备:

声学显微镜

基于探针的微机械测试（破坏性的测试）

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