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显微镜下确定MEMS传感器的边墙形貌问题

2018-06-29 | 来源：
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边墙形貌（sidewallprofile）不佳微结构的边墙对器件性能有很大程度上的影响。通过光学显微镜看结构，所看到的边墙不是很好。特别是，刻蚀不足和沟槽通常是看不见的。然而，这些几何形变会明显改变弹簧和柔性板的机械性能。常见的检查方法/设备:切割晶圆，通过扫描电子显微镜观察（破坏性的测试）基于探针的微机械测试</di

边墙形貌（sidewall profile）不佳

微结构的边墙对器件性能有很大程度上的影响。通过光学显微镜看结构，所看到的边墙不是很好。特别是，刻蚀不足和沟槽通常是看不见的。然而，这些几何形变会明显改变弹簧和柔性板的机械性能。

常见的检查方法/设备:

切割晶圆，通过扫描电子显微镜观察（破坏性的测试）

基于探针的微机械测试

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