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显微镜波谱分析和能谱分析的对比

2018-07-27 | 来源:
波谱分析和能谱分析的对比波谱分析和能谱分析都是用于功能型电子显微镜的元素分析。波谱分析和能谱分析均能进行微区分析,波谱分析发展较早,但进展不大;近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。两种方法比较如下:1.通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线,但近年出现的单窗口轻元素探测器,可同波谱仪探测器一样探测范围从B(5)到U(92),甚至还可探测Be。2.能谱仪接受信号范围宽,需时短。<p

波谱分析和能谱分析的对比

波谱分析和能谱分析都是用于功能型电子显微镜的元素分析。波谱分析和能谱分析均能进行微区分析,波谱分析发展较早,但进展不大;近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。两种方法比较如下:

   1.通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线,但近年出现的单窗口轻元素探测器,可同波谱仪探测器一样探测范围从B(5)到U(92),甚至还可探测Be。

   2.能谱仪接受信号范围宽,需时短。

   3.波谱仪的几何收集效率和量子效率均低于能谱仪。

   4.能谱仪造价比波谱仪低,且操作简便。

   5.能谱仪检测器的分辨率较低,谱峰重叠严重,信噪比较差。

   6.能谱中存在失真,是分析误差的来源;波谱中失真较少。

   7.由于能谱仪的一些问题引起分析误差,导致数据处理的复杂性;波谱仪的数据处理相对比较简单。

   8.波谱仪和能谱仪的空间分辨率基本相同。

   9.波谱可精确的计算成份比例。价格相对能谱贵些。

 10.能谱速度快,操作简单,可以很快的判断元素的成份。

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