相位移模式原子力显微镜

作为轻敲模式的一项重要的扩展技术，相位移模式通过检测驱动微悬臂探针振动的信号源的相位角与微悬臂探针实际振动的相位角之差（即两者的相移）的变化来成像。引起该相移的因素很多，如样品的组分、硬度、粘弹性质等。因此利用相位移模式，可以在纳米尺度上获得样品表面局域性质的丰富信息。相位移模式已成为原子力显微镜/AFM的一种重要检测技术。

图3 相位移模式测试原理示意图