台式扫描电子显微镜主要由电子光学系统、信号收集处理系统、真空系统、图像处理显示和记录系统、样品室样品台、电源系统和计算机控制系统等组成。

　　电子显微镜利用电子和物质的相互作用，图像为立体形象，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号，其中包括弹性背反射电子和非弹性背反射电子。

　　该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理，利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得立体感强的样品表面超微形貌结构信息，具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

　　它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦，其作用与光学显微镜中的光学透镜（凸透镜）使光束聚焦的作用是一样的。现代的台式扫描电子显微镜大多采用电磁透镜，所以称为电子透镜，光学透镜的焦点是固定的，而电子透镜的焦点可以被调节，因此显微镜不象光学显微镜那样有可以移动的透镜系统，在图像中则显得较暗，如果样品太厚或过密、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子。