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扫描探针显微镜（SPM）结构

2018-04-08 | 来源：

1、探针：STM金属探针，AFM微悬臂、光电二极臂2、机械控制系统：压电扫描器、粗调定位装置、振动隔离系统3、电子学控制系统：电子学线路、接口，控制软件

1、探针：STM金属探针，AFM微悬臂、光电二极臂

2、机械控制系统：压电扫描器、粗调定位装置、振动隔离系统

3、电子学控制系统：电子学线路、接口，控制软件

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