X射线微量分析(X-ray microanalysis)的基本原理是:在电镜内用高速电子束轰击固体标本的微小区域,使该区域所含的元素发射一定波长和强度的X射线,由X射线检测器接收并分辨各种元素所发射的X射线的特征性波长和能量强度,借以确定标本内所含的元素种类和含量。其方法有两种:①波长弥散X射线微量分析(Wave length dispersive x-ray microanalysis WDX),简称波谱分析;②能量弥散X射线微量分析(energy dispersive x-ray microanalysis,EDX);简称能谱分析。目前国内外多使用能谱分析。用于轰击标本的电子束极细。