环境扫描电子显微镜主要特点（以FEI Quanta为例）

　　1、FEI ESEM(环境扫描电镜)技术,可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。

　　2、所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。

　　3、先进的系统结构平台，全数字化系统。

　　4、可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。

　　5、可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的动态观察和分析。

　　环境扫描电子显微镜技术参数（以FEI Quanta 250/450/650为例）

　　1、分辨率:

　　二次电子:

　　高真空模式3.0nm 30kV,8nm 3kV

　　高真空减速模式7nm 3kV(可选项)

　　低真空模式3.0nm 30kV,10nm 3kV

　　环境真空模式3.0nm 30kV

　　背散射电子4.0nm 30kV

　　2、样品室压力最高达2600Pa

　　3、加速电压200V～30kV，连续调节

　　4、样品台移动范围

　　Quanta 250:X=Y=50mm

　　Quanta 450:X=Y=100mm

　　Quanta 650:X=Y=150mm