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线上电子显微镜仪器简介!

2012-06-11 | 来源:
In-lineSEM(线上型电子显微镜)-仪器简介设备编号:CF-L06设备名称:线上电子显微镜(In-lineSEM)放置位置:Class10机台型号:HITACHIS-6280H机台功能In-lineSEM主要用途为线上产品线宽量测,又称CD-SEM,其特点为WAFER无

 In-line SEM(线上型电子显微镜)-仪器简介

 
设备编号:CF-L06
设备名称:线上电子显微镜(In-line SEM)
放置位置:Class 10
机台型号:HITACHI S-6280H
 
机台功能
In-line SEM主要用途为线上产品线宽量测,又称CD-SEM,其特点为WAFER无须经过切片或镀金属膜等预处理步骤,即可观察及量测光阻、绝缘层及金属层等之图案,本量测设备属于非坏性检测,量测完成之WAFER可以继续进行下一制程步骤,因此称为线上型电子显微镜。
本机台仅能量测线宽,由于试片无法倾斜,因此无法观察试片断面,本机台主要规格如下:
1.  加速电压:0.7~1.3kv
2.  放射电流:3~20mA
3.  电子枪:冷阴极场发射电子源(CCFE)
4.  解析度:6 nm(GOLD)
5.  放大倍率:100X~150000X
6.  试片尺寸:6"晶圆 (平边)
7.  影像旋转:-50°~95°
8.  真空度:≦1×10-7Pa(电子源)
 
机台的限制(材料,参数范围等)
              特殊注意事项:
1.           试片必须合于规定的尺寸及材质,试片底材:Si,试片尺寸:6 inch,具有单一平边。
2.           试片须完整,不可有缺角或裂纹。
3.           因电子腔内为高度真空,故试片不得为挥发性物质、不得为在电子束扫描时具挥发性之物质。
4.           试片若含光阻,必须先做完硬烤(HARD BAKE),才可将试片送入。
5.           试片不得含有磁性物质。
 
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