常见电子显微镜家族还包括下列这三种 STM ：scanning tunneling microscope 扫描穿遂式电子显微镜 是一种利用量子力学中的穿隧效应探测物质表面结构的仪器，可以在 低温下利用探针準确操作原子，例如做一些图形。

SEM ：scanning electron microscopy 扫描式电子显微镜 利用电磁透镜聚焦高能的电子束而在试片扫描样品依其所激发出的二 次电子与背向散射电子的接收对试片表面进行分析，可获得试片表面 的化学成分，晶体缺陷等信息，是对固体物质表面进行综合分析的仪器。STEM：scanning & transmission electron microscop 描穿透式电子显微镜 即包含扫描式电子显微镜与穿透式电子显微镜的优点。HRTEM：high resolution transmission electron microscop 高解析穿透式电子显微镜 比TEM观测尺度更小，可以观测到小于1埃的尺度 （1埃=10-10m）

TEM工作原理 在1924年 Louis de Broglie提出电子具有波动的特性（1929年诺贝尔物理奖），与光学显微镜的原理，利用光的波长来决定影像的解析度。Broglie的坡动说，无疑地提供了电子显微镜的理论基础；1926年，Busch发现电子经过电磁场会发生偏折，这与光线经过透镜发生偏折类似。 顾名思义，穿透式电子显微镜里的穿透，便是高能电子束能量远大于物体本身的位垒，