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原子力显微镜（AFM）拼接缝合技术（Stitching）分析大尺寸表面
2010-05-07 | 来源：
Nanite原子力显微镜测量模式:接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（KelvinProbe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。摘要本篇应用文章介绍了
Nanite原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。
摘要
本篇应用文章介绍了Nanosurf Nanite AFM脚本文件界面与Nanosurf报告专家分析软件结合的全自动拼接缝合技术特点。LCD面板上的AFM测量作为一个例子，演示如何拼接能够简单的得到大尺寸表面区域的高分辨率形貌图像。
介绍
高分辨率成像技术例如AFM常常会受制于他们的zui大扫描范围。当同时需要AFM高的侧向分辨率和一个大扫描范围时，图像拼接技术是一个解决方案。图像拼接常用于从批量制作的图片中生成一个单一的全景图像。在更先进的操作中，这项技术也能被用于结合批量AFM测量生成单一大图像。因此，大尺寸表面区域的AFM图像，例如1 mm × 1 mm或100 μm × 100μm大小，能被简单的得到。
Nanosurf Nanite AFM系统能全自动的测量和拼接所需要的图像。用户仅需要单个AFM图像大小和被测量区域的大小。然后AFM会执行好剩余的操作。测量完成后，图像被加载到Nanosurf Report Expert后处理软件中，然后一起被拼接成一个单一图像。这个图像仍然包含所有的精密测量数据，因此能像其他AFM图像一样具有所有的分析功能，包括高度和距离测量，粗糙度计算，颗粒和粒径分析，横截面分析，和3维成像功能。
图1：LCD面板的光学显微镜图像。范围：660 μm × 660μm，使用Nanosurf easyScope 120倍放大得到。大的红色框围着的是一单个LCD像素。小的白色框对应的是AFM扫描范围能覆盖的区域。扫描结果见图2
图2：LCD面板典型的AFM扫描区域，在有限的扫描区域得到高分辨率的形貌数据。扫描范围74μm × 74μm，如图1中白色框所示。
图3：Nanosurf控制软件中运行的拼接脚本程序。红框显示了拼接对话框要求用户提供基本参数用于拼接处理。
图4：Nanosurf Report Expert软件中的拼接模块界面。简单但功能强大的命令允许任何人运行拼接程序，并得到专业的结果。
图5：一幅拼接好的AFM三维图像。这幅图（对应图4得到的拼接结果），200倍放大倍数，演示了使用Nanosurf Nanite B AFM和自动移动平台如何轻松获得高分辨率的三维数据。也演示了拼接结果是多么的严丝合缝。
图6：一个LCD面板的AFM拼接图像。这幅图（560μm × 570μm；160倍放大倍率）是10 × 10幅图像的结果，此结果是使用Nanosurf Nanite B AFM扫描记录和拼接，并运用了Nanosurf 控制和报告软件的拼接功能。此结构在尺寸上与图1所示光学图片相近，但提供了更多的细节和三维数据。
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