扫描探针显微镜（SPM）结构

1、探针：STM金属探针，AFM微悬臂、光电二极臂。

2、机械控制系统：压电扫描器、粗调定位装置、振动隔离系统。

3、电子学控制系统：电子学线路、接口，控制软件。

扫描探针显微镜（SPM）特点

1、局域探针：探测样品的局域特性、表面形貌、电子结构、电场、磁场等其他局域特性、

2、高分辨率：STM x、y 0.1nm，Z 0.01nm

3、可在不同环境下成像：大气、超高真空、溶液、低温、高温

4、对样品无损伤、无干扰

5、实时、动态过程的研究：吸附、脱附、结构相变、化学反应

6、谱学特性测量：扫描隧道谱、力曲线等

7、原子及纳米级操纵、表面改性