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显微镜下确定MEMS传感器的不精确的材料特性
2018-06-29 | 来源：
不精确的材料特性新型材料在MEMS传感器器件已经显示其巨大的潜力。但是，薄膜材料比本体材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物时，如杨氏模量、线性度、磁滞现象等机械性能严重依赖于工艺参数。不精确或者是不理想的材料特性可能会降低器件性能，甚至导致器件失效。常见的检查方法/设备:探针台（针对电性能）X射线探测器（化学计量分析）基于探针的微机械测试（针对机械性能）
不精确的材料特性
新型材料在MEMS传感器器件已经显示其巨大的潜力。但是，薄膜材料比本体材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物时，如杨氏模量、线性度、磁滞现象等机械性能严重依赖于工艺参数。不精确或者是不理想的材料特性可能会降低器件性能，甚至导致器件失效。
常见的检查方法/设备:
探针台（针对电性能）
X射线探测器（化学计量分析）
基于探针的微机械测试（针对机械性能）
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