扫描电子显微镜的主要结构1.电子光学系统：电子枪；聚光镜（*、第二聚光镜和物镜）；物镜光阑。2.扫描系统：扫描信号发生器；扫描放大控制器；扫描偏转线圈。3.信号探测放大系统：探测二次电子、背散射电子等电子信号。4.图象显示和记录系统：早期SEM采用显象管、照相机等。数字式SEM采用电脑系统进行图象显示和记录管理。5.真空系统：真空度高于 10 -4 Torr 。常用：机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵。6.电源系统：高压发生装置、高压油箱。扫描电子显微镜，简称扫描电镜、SEM可以应用于多个领域，例如：(1)生物：种子、花粉、细菌……(2)医学：血球、病毒……(3)动物：大肠、绒毛、细胞、纤维……(4)材料：陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂……(5)化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌) 、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……)电子材料等。