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带能谱分析的扫描电子显微镜在电子封装失效分析中应用

2018-07-25 | 来源：

简要介绍了扫描电子显微镜和X射线能谱仪的特点、制样方法和工作方式。通过铜腐蚀、锡须、硫化银以及银迁移的失效实例,阐述了带能谱分析的扫描电子显微镜在电子封装失效分析中的应用。

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